장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
소자 테스트 진공시스템 (Deposition System)
모델명
주문제작
제작사(국가)
인포비온 (대한민국)
제작년도
2012
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2012.12.11
장비설명
◇유기물과 금속물질을 챔버내의 진공분위기에서 원하는 Rate로 열증착하여 기판위에 성막시킴으로써 유기발광소자를 제작하는 장비
◇물질의 종류와 두께에 따른 조건변화를 통해 최적화된 소자를 제작
장비구성

성능
◇유기 증착 소스 셀 : 9 (4 cc PBN Crucible)
◇금속 증착용 보트 : 3 (Carbon BN Boat)
◇증착 박막 균일도
ㆍ유기 증착 셀 3% 이내
ㆍ금속 증착 보트 5% 이내
◇핀 정렬도 : ± 200 µm 이내
◇기저압력 : 5.0 ⅹ 10-7 Torr (2시간 이내)
◇저 진공 펌프 압력(Rotary Pump) : 10-3 Torr
◇고 진공 펌프 압력(Cryo Pump) : 10-7 Torr
◇가열 온도 : Max. 500 °C (유기물 증착), Max. 2,000 °C (금속 증착)
◇제어방식 : PC 제어 (Mask Chuck Align 및 Cell 온도제어, 실시간 증착속도 Monitoring)
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194 .(재)철원플라즈마산
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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